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電火花線切割簡稱線切割。它是在電火花穿孔、成形加工的基礎上發(fā)展起來的。它不僅使電火花加工的應用得到了發(fā)展,而且某些方面已取代了電火花穿孔、成形加工。如今,線切割機床已占電火花機床的大半。加工出來的表面比較粗糙。慢走絲也是線切割的一種,是利用連續(xù)移動的細金屬絲（稱為電極絲）作電極,對工件進行脈沖火花放電蝕除金屬、切割成型。它主要用于加工各種形狀復雜和精密細小的工件,根據電極絲的運行速度不同,電火花線切割機床通常分為兩類：一類是慢走絲（也叫低速走絲電火花線切割機床）電極絲作低速單向運動,一般走絲速度低于0.2m/s,精度達0.001mm級,表面質量也接近磨削水平。加工出來的表面很光。硅是生產太陽能電池的主要材料,太陽能電池生產一般有硅棒生長、硅片切割、硅片清洗、制絨及其電極制作幾個步驟,在工藝方面主要致力于降低電池表面的光反射來提高太陽能光電轉換效率,一般采用的有鍍減反射膜和表面織構工藝。

單晶硅電池的表面織構化已經用酸 堿 異'性腐蝕的方法得到解決,轉換效率高,穩(wěn)定性好,但是成本比較高。多晶硅是單晶硅的直接原料,能直接制備出適于規(guī)�；�生產的大尺寸方型硅鏈,制造過程簡單、省電、節(jié)約硅材料,具有更大的降低太陽能電池生產成本的潛力。由于多晶硅中的各種缺陷,如晶界、位錯、微缺陷等,使其光電轉換效率較低,目前多晶硅電池主要制作減反射膜(sin薄膜)和制作多孔硅降低光損失,這種方法的設備成本高。同時國內外嘗試了用機械刻槽工藝[1]、反應離子刻蝕技術[2]、蜂窩絨面結構技術[3]形成絨面,由于工藝復雜、工序時間長、設備昂貴和成本高等不適慢走絲線切割機床加工經驗合工業(yè)化生產。以提高轉換效率和降低成本為目標,探討和研究多晶硅電池的新型制作方法是一項艱巨的任務。

常規(guī)太陽能硅片切割使用線鋸切割,切割損耗較大,且有宏觀切削力等缺點,而電火花錢切割具有能量密度高、無接觸去材、無宏觀切削力等優(yōu)點,漸漸成為加工硅片的一種手段,國內外90年代末期開始對硅進行了大量的電火花加工試驗研究,使電火花加工硅片成為可能。