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將表面粗糙度比較樣塊(簡(jiǎn)稱樣塊)根據(jù)視覺和觸覺與被測(cè)表面比較,判斷被測(cè)表面粗糙度相當(dāng)于那一數(shù)值,或測(cè)量其反射光強(qiáng)變化來評(píng)定表面粗糙度(見激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù))。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊,表面經(jīng)磨、車、鏜、銑、刨等切削加工,電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時(shí)可直接從工件中選出樣品經(jīng)過測(cè)量并評(píng)定合格后作為樣塊。利用樣塊根據(jù)視覺和觸覺評(píng)定表面粗糙度的方法雖然簡(jiǎn)便,但會(huì)受到主觀因素影響,常不能得出正確的表面粗糙度數(shù)值。

在實(shí)際測(cè)量中,常會(huì)遇到深孔,盲孔.凹槽,內(nèi)螺紋等既不能使用儀器直接測(cè)量,也不能使用樣板比較的表面.這時(shí)常用印模法.印摸法是利用一些無(wú)流動(dòng)性和彈性的塑性材料(如石蠟等)貼合在 被測(cè)表面上.將被測(cè)表面的輪廓復(fù)制成模.然后測(cè)量印模,從而來評(píng)定被測(cè)表面的粗糙度.

利用針尖曲率半徑為 2微米左右的金剛石觸針沿被測(cè)表面緩慢滑行,金剛石觸針的上下位移量由電學(xué)式長(zhǎng)度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào),經(jīng)放大、濾波、計(jì)算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值,也可用記錄器記錄被測(cè)截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測(cè)量工具稱為表面粗糙度測(cè)量?jī)x,同時(shí)能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀(簡(jiǎn)稱輪廓儀。這兩種測(cè)量工具都有電子計(jì)算電路或電子計(jì)算機(jī),它能自動(dòng)計(jì)算出輪廓算術(shù)平均偏差Rα,微觀不平度十點(diǎn)高度RZ,輪廓最大高度Ry和其他多種評(píng)定參數(shù),測(cè)量效率高,適用于測(cè)量Rα為0.025~6.3微米的表面粗糙度。

利用光波干涉原理 (見平晶、激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù))將被測(cè)表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來,并利用放大倍數(shù)高 (可達(dá)500倍)的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測(cè)量,以得出被測(cè)表面粗糙度。應(yīng)用此法的表面粗糙度測(cè)量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測(cè)量Rz和Ry為 0.025~0.8微米的表面粗糙度。

光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測(cè)表面上,以它與被測(cè)表面的交線所形成的輪廓曲線來測(cè)量表面粗糙度(圖1)。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡1后,以45°的傾斜角將狹縫投影到被測(cè)表面,形成被測(cè)表面的截面輪廓圖形,然后通過物鏡 2將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測(cè)微目鏡和讀數(shù)鼓輪(圖1中未示)先讀出h值,計(jì)算后得到H 值。應(yīng)用此法的表面粗糙度測(cè)量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測(cè)量RZ和Ry為0.8~100微米的表面粗糙度,需要人工取點(diǎn),測(cè)量效率低。