在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入10nm節(jié)點(diǎn)之后,制造越來越困難,其中最復(fù)雜的一步——光刻需要用到EUV光刻機(jī)了,而后者目前只有荷蘭ASML阿斯麥公司才能供應(yīng)。中芯國際去年也訂購了一臺EUV光刻機(jī),日前該公司表示與ASML之間已解決光刻機(jī)的問題,EUV技術(shù)研發(fā)步入正軌。
前不久有消息稱ASML停止對中芯國際供應(yīng)EUV光刻機(jī),隨后ASML公司表示不是停供,而是延期,主要是在準(zhǔn)備該國政府的出口申請文本工作。
中芯國際董事長周子學(xué)日前在韓國訪問,韓媒報(bào)道稱周子學(xué)表態(tài)已經(jīng)解決了與ASML之間就光刻機(jī)供應(yīng)存在的問題,強(qiáng)調(diào)中芯國際在先進(jìn)工藝上的研發(fā)、生產(chǎn)一直處于穩(wěn)定的軌道上,與客戶及設(shè)備供應(yīng)商之間沒有任何問題。
ASML公司是EUV光刻機(jī)目前唯一的供應(yīng)商,今年四季度,ASML預(yù)計(jì)交付8臺EUV光刻機(jī),平均每臺價格達(dá)到了1.2億歐元,折合人民幣9.3億元,堪稱人類最昂貴的設(shè)備了。
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